ナノメトリックセンサー

 

 



나노 메트릭 센스ー
(특허 출원중)

고안정성의 추구와 고온 환경하에서의 회전체 런아우트(중심 흔들림)측정을
다이나믹하게 측정 가능하게 한 변위계

 

 

Model 212은 용도에 따라서 2종류가 있습니다。

Model 212HS

고감도・광온도 대응형
-30℃에서 100℃의 광온도 범위에서 측정이 가능합니다。

Model 212LD

고안정도형・유니트형・다 챤넬대응형
온도 드리프트가 작고(0.01%F.S/℃)、유니트형은 장치에 삽입이 가능합니다。
나노 테크놀로지의 진화와 함께 금속부품의 열변위 측정에도 최적입니다。

 


나노 메트릭 센스  Model 212HS (고감도 ・ 광온도 대응형)

Model 212

 

・

하드 디스크、 광디스크등에 사용되고 있는 초정밀 모터등의 고속・고정밀도에서 회전하는 회전체의 런아우트 (RRO, NRRO)측정이 100℃의 온도 환경에서 관측할수 있습니다。

・

고정밀도 스핀들 모터의 런아우트(RRO, NRRO)측정、부상량 측정이 -30℃~100℃의 광온도 환경에서 관측을 할 수가 있습니다。


◆ 주된 특징

  • 고정밀도、고분해능、고리니아리티
  • 고감도형(온도범위:-30℃~100℃)
  • 각종 형상 플로브의 제작이 가능합니다

 


부속 데이터  100℃ 측정 파형  ・ 데이터


◆
성능

방식

정전용량

츨력전압

±10V F.S

정확도

±1% F.S (23±3℃, 85% R.H)

응답 주파수

DC~5KHz (-3dB) 2KHz, 200Hz 切替可能

출력저항

約 100Ω

출력표시

아날로그 메터

전원

AC100V±10% 50/60Hz 約 10W



◆
프로브 사양

프로브

611L-1

환경조건

-30℃~100℃ 95%R.H 以下

외형

φ16mm

측정전극

矩形 0.37 X 2mm

측정범위

100±50μm

출력전압(변동 가능)

±10V

감도

200mv/μm

정확도

±1%F.S (23±5℃)

분해능 p-p

5KHz

30nm

2KHz

15nm

200Hz

5nm

20Hz

------

케이블 길이

1.5m

 


 

나노 매트릭 센스  Model 212LD (고안정도형・유니트형 ・ 다찬넬 대응형)

Model 212

 

・

드리프트가 적고 안정한 측정에 편리한 제품입니다。

・

서보 제어 、웨이퍼 프로브,피에조 구동 테이블、엣지검출 등、고정밀도 위치 결정 장치에 최적입니다。
본체 형상으로서 、케이스형、유니트형이 있습니다。

・

유니트을 스롯트 형상으로 해서 다찬넬을 합쳐서 케이스에 수납할 수가 있습니다。(다찬넬 대응형)


◆
주된 특징

  • 고정밀도、고분해능、고 리니아리티
  • 고안정도형 (온도 드리프트 : 0.01%F.S/℃)
  • 각종 형상 프로브의 제작이 가능합니다


부속 데이터: 장시간 드리프트 데이터

Model 212LD
은 다음의 2 Type로 판매할 수가 있습니다。

Model 212LD
(고안정도형)

Model 212U
(
고안정도 ・ 유니트형)  



◆ 사양

방식

정전용량

출력전압

±10V F.S

정확도

±1% F.S (23±3℃, 85% R.H)

응답 주파수

DC~2KHz (-3dB) 200Hz, 20Hz 절환 가능

출력 저항

約 100Ω

출력 표시

アナログメータ

전원

AC100V±10% 50/60Hz 約 10W



◆
프로브 사양

프로브

614A-1

환경 조건

23±3℃, 85% R.H 以下

외형

φ16mm (φ10mm --- Option)

측정 전극

φ1.8mm

측정 범위

100±50μm

출력 전압(변경 가능)

±10V

감도

200mv/μm

정확도

±0.2%F.S (23±5℃)

분해능 p-p

5KHz

------

2KHz

15nm

200Hz

5nm

20Hz

1nm

케이블 길이

1.5m