Model
212은 용도에
따라서 2종류가 있습니다。
Model
212HS |
고감도・광온도 대응형 -30℃에서
100℃의 광온도 범위에서 측정이 가능합니다。 |
Model
212LD |
고안정도형・유니트형・다 챤넬대응형 온도 드리프트가 작고(0.01%F.S/℃)、유니트형은 장치에 삽입이
가능합니다。 나노 테크놀로지의 진화와 함께 금속부품의 열변위 측정에도
최적입니다。
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나노 메트릭 센스
Model 212HS (고감도 ・
광온도 대응형) |
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・ |
하드 디스크、 광디스크등에 사용되고 있는 초정밀 모터등의 고속・고정밀도에서 회전하는 회전체의 런아우트 (RRO, NRRO)측정이 100℃의 온도
환경에서
관측할수 있습니다。 |
・ |
고정밀도 스핀들 모터의 런아우트(RRO, NRRO)측정、부상량 측정이 -30℃~100℃의 광온도 환경에서 관측을 할 수가
있습니다。 |
◆ 주된
특징
- 고정밀도、고분해능、고리니아리티
- 고감도형(온도범위:-30℃~100℃)
- 각종 형상
플로브의 제작이 가능합니다
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부속
데이터 100℃ 측정 파형 ・ 데이터
◆ 성능
방식 |
정전용량 |
츨력전압 |
±10V F.S |
정확도 |
±1% F.S (23±3℃, 85%
R.H) |
응답
주파수 |
DC~5KHz (-3dB) 2KHz, 200Hz 切替可能 |
출력저항 |
約
100Ω |
출력표시 |
아날로그
메터 |
전원 |
AC100V±10% 50/60Hz 約
10W |
◆
프로브
사양
프로브 |
611L-1 |
환경조건 |
-30℃~100℃ 95%R.H
以下 |
외형 |
φ16mm |
측정전극 |
矩形 0.37 X 2mm |
측정범위 |
100±50μm |
출력전압(변동
가능) |
±10V |
감도 |
200mv/μm |
정확도 |
±1%F.S (23±5℃)
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분해능 p-p |
5KHz |
30nm |
2KHz |
15nm |
200Hz |
5nm |
20Hz |
------ |
케이블
길이 |
1.5m |
나노 매트릭 센스
Model
212LD (고안정도형・유니트형 ・
다찬넬 대응형) |
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・ |
드리프트가 적고 안정한 측정에
편리한
제품입니다。 |
・ |
서보 제어 、웨이퍼 프로브,피에조 구동 테이블、엣지검출 등、고정밀도 위치 결정
장치에 최적입니다。 본체 형상으로서 、케이스형、유니트형이 있습니다。 |
・ |
유니트을 스롯트 형상으로 해서 다찬넬을 합쳐서 케이스에 수납할 수가
있습니다。(다찬넬 대응형) |
◆
주된
특징
- 고정밀도、고분해능、고 리니아리티
- 고안정도형 (온도 드리프트 : 0.01%F.S/℃)
- 각종 형상 프로브의 제작이 가능합니다
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부속
데이터: 장시간 드리프트
데이터
Model 212LD 은 다음의 2
Type로 판매할 수가 있습니다。
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Model 212LD (고안정도형) |
Model 212U (고안정도 ・ 유니트형) |
◆ 사양
방식 |
정전용량 |
출력전압 |
±10V F.S |
정확도 |
±1% F.S (23±3℃, 85%
R.H) |
응답
주파수 |
DC~2KHz (-3dB) 200Hz, 20Hz 절환
가능 |
출력
저항 |
約 100Ω |
출력
표시 |
アナログメータ |
전원 |
AC100V±10% 50/60Hz 約
10W |
◆
프로브
사양
프로브 |
614A-1 |
환경
조건 |
23±3℃, 85%
R.H 以下 |
외형 |
φ16mm (φ10mm
--- Option) |
측정
전극 |
φ1.8mm |
측정
범위 |
100±50μm |
출력
전압(변경
가능) |
±10V |
감도 |
200mv/μm |
정확도 |
±0.2%F.S (23±5℃)
|
분해능
p-p
|
5KHz |
------ |
2KHz |
15nm |
200Hz |
5nm |
20Hz |
1nm |
케이블
길이 |
1.5m |
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