ナノメトリックセンサー



나노 매트릭스 센스



고 안정성을 추구한 소형 3ＣＨ기기。극세 형상 프로브의 채용에 의한
좁은 부분의 다점 측정을 가능하게한 변위계


Model 212-3
　프로브
　 좌：511-1
    우：411-1


◆ 용도
  • 초소현 모터의 다점 측정을 할수가 있습니다。（Model 212-3＋프로브  511-1）
    응용예１：
    		소형 스핀들 모터나 에어 베어링의 Z-H・F-H 측정
    ２：
    		소형 HD 메디아등의 형상 측정

  • 초정밀 이동 스테이지의 X・Y・Z 3축 위치결정 센스로서 이용할수가 있습니다。
    　　（Model212-3＋프로브  411-1）

    ◆ 주된 특징
  • 앰프와 극세 형상 프로브을 겸용으로 좁은 부분의 다점 측정이 가능합니다。
    프로브  511-1
    		 ： 외경 φ5mm
    프로브  411-1
    		 ： 외경 φ4mm
  • 고안정도 、고분해능
  • 소형 형상 ３ＣＨ 앰프 내장
    외경 치수
    		 ：약210(W)×150(H)×230(D)  중량： 약 3kg



    • ◆Model 212-3＋프로브 511-1의 응용 예

    사양
    측정  범위 100±50μm
    출력 전압 ±10V
    감도 200mV/μm
    정확도 ±1%F.S (23±3℃)
    주파수 대역 DC～2KHz 3dB 고정
    분해능 100nm
    측정 전극 0.4×1.0mm
    전원 AC100V±10% 50/60Hz 約 50W

    ＜프로브  511-1의 형상＞



    ◆Model 212-3＋프로브 411-1의 응용 예

    사양
    측정 범위 50±25μm
    출력 전압 ±10V
    감도 400mV/μm
    정확도 ±1%F.S (23±1℃)
    분해능 p-p 20Hz 1nm
    2Hz 0.5nm
    측정 전극 φ0.7mm
    전원 AC100V±10% 50/60Hz 約 50W

    ＜프로브   411-1의 형상＞