ナノメトリックセンサー


<
고분해능(노이즈 레벨) ・ 고 리니아리티 실측 데이터> ・・・ Model 211

고분해능

 (노이즈 레벨의 FFT 실측 데이터)


노이즈 레벨의 저감에 의해 、1나노 메터 분해능을 실현

Model 211 613A-1  프로브 사용
超高分解能

20kHzLPF
 400mV/um  D=100±25um

 

고 리니아리티

 (PZT 5nm 스텝 측정)


피에조 악츄에타의 스텝 데이터 
(피에조 악츄에타을  5nm씩 변화했을때의 응답 데이터입니다。)


Model 211 613A-1 프로브 사용
PZT

20kHzLPF  400mV/um
  D=100±25um 5nm/div

 



<
고속 응답 측정 ・ 필터 특성> ・・・ Model 211

고속 응답

 (초음파 진동의 측정)


옵션 300kHzLPF 인 경우 
(
고속 진동 현상을 안정하게 측정이 가능합니다。)


model 211 612A-1  프로브 사용



f=108.66kHz
300kHzLPF
 800mV/um  D=50±12.5um

 

필터 특성

 


옵션  500kHzLPF인 경우


Model 211 613A-1 FREQUENCY RESPONSE

フィルター特性