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용도
고속・고정밀도에서 회전하는 회전체의 런아우트（RRO, NRRO）측정에 최적입니다。
초정밀 회전체의 변위・진동을
고분해능에서 측정할수 있습니다。
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HD용 모터、 광디스크등에 사용되는 초정밀 모터의
측정
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고정밀도 스핀들 모터의
측정 등
◆ 주된
특징
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초고분해능
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응답 주파수 표준에서 20KHz
（옵션으로 500KHz도 가능）
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필터 내장（2KHz、200Hz）
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고감도 프로브、고정밀도、고안정도、고리니아리티
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각종 형상
프로브의 제작이 가능합니다
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옵션 ： |
변위속도 ・ 가속도 측정
기능 ・ 응답
주파수（최고 500KHｚ）
에도대응할수 있기 때문에
문의 하여 주십시오。 |
정전
용량식 변위계는 다른 비접촉 센스와 달라서 、측정물이
금속、도체라면
재질에 의한 영향은 없습니다。
또、글라스、플라스틱등의
비금속 재질도 、감도을
교정해서 측정할 수가 있습니다。
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