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나노 메트릭 센스 란?
물체의 극히 미세한 움직임（변위）을 물체에 첩촉하지 않고 측정하는 계측기입니다。
측정방법은 물체 가까이에 프로브을 놓고,물체의 변위을
정전용량의 변위로 바꾸어 검출합니다. |
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정전용량식의 특징
-1나노메터（1/106mm） 의 미소한 움직임(변위)까지 측정할수 있습니다
-다른 방식（레이져、소용돌이 방식etc）에 비교하여 수10배의 감도을 갖고 있습니다.
-측정 대상이 금속、도체라면 재질에 의한 영향은 없습니다.
-그라스、플라스틱등의 비금속 재질도 감도을 교정해서 측정이 가능합니다 |
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 정전용량식 센스의 측정원리 |
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◆ 나노 메트릭 센스에는 용도에 따라 3가지 모델이 있습니다. |
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Model 211 |
Model 212 （特許出願中） |
Model 212-3 |
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| Model 211
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노이즈 레벨을 대폭적으로 저감하고、초고분해능 （1나노 메터 P-P）、고속응답（20KHz、옵션으로 500KHz ）의 변위계 |
| Model 212
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고안정성의 추구와 고온 환경하에서의 회전체 런 아우트（芯 흔들림）측정을다이나믹하게 측정 가능하게하는 변위계 |
| Model 212-3
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고안정성을 추구한 소형 ３ＣＨ기。극세 형상 프로브을 채용하여、초정밀소형 모터의 Z-H ・ F-H 등의 다점 측정 및 초정밀 이동 스테이지의 X・Y・Z축의 위치 측정을 가능하게한 변위계 | |
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변위계는 앰프와 프로브로 구성이 되어 있습니다
이 미소세한 움직임의 측정을 가능하게 위해서는 본체와 더불어 、각종 형상의 프로브 개발・제조에도 전력을다하고 있습니다。
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예)프로브 형상 |
극세 프로브 형상
(Model 212 ・ 212-3대응） | |
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| 나노 메트릭 센스의 특징
- 초고분해능
- 고감도 ･ 고정밀도 ･ 고리니알리티
- 고속응답주파수（옵션 ： 500KHz）
- 저온 ･ 고온환경대응 ： -30～100℃
（Model 212HS 고감도형）
- 고안정도（온도드리후트） ： 0.01%F.S/℃
（Model 212LD 高安定度型）
- 진공 챔버 대응：Model 212형 프로브
- 각종 형상 프로브의 제작이 가능합니다
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| 주의：
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분해능의 카타로그 수치는 노이즈 환산 수치을 P-P 로 표시하고 있습니다。
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참고
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1nm/P-P ≒ 0.15nm/rms
6.7nm/P-P ≒ 1nm/rms
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용도 |
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| 회전체、축흔들림・ 면흔들림 측정
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스핀들 모터、소형모터、각종 드름、에어 스핀들 모터、폴리콘 밀러 、하드 디스크、광디스크
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| 진동 측정
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초음파 진동 소자、압전소자、피에조소자、악기 현진동、기계진동、교통진동
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| 위치 결정 측정
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각종 구동 테이블、각종 엣지 검출
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| 그외 측정 |
구께、금속원통（내경 ・ 외경 ・ 진원도）、함수율
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응용 예의 측정 데이터
다음과 같은 상세한 응용예의 측정 데이터는 아래을 보면 됩니다.
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현재위치 : 
